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本設(shè)備是針對玻璃高速打孔而開發(fā)的激光誘導(dǎo)改性裝備，采用AOD平臺聯(lián)動技術(shù)，相對于傳統(tǒng)的玻璃改性誘導(dǎo)刻蝕設(shè)備加工速度更快，效率更高。
| 項目 | 技術(shù)參數(shù) | |||
| 激光系統(tǒng) | 激光光源 | 飛秒激光器 | ||
| 激光波長 | 1035nm | |||
| 最大輸出功率 | 30W | |||
| 加工性能 | 整機精度 | ± 3um | ||
| 單次加工幅面 | 510×515mm | |||
| XY平臺行程 | 800×800mm | |||
| XY定位精度 | ± 1um | |||
| Z軸行程 | 20mm | |||
| Z軸定位精度 | ±10um | |||
| CCD | 500萬像素 | |||
| 玻璃厚度 | ≤1mm | |||
| 可加工孔大小 | 視刻蝕工藝而定 | |||
| 使用環(huán)境 | 供電規(guī)格 | AC220V/50Hz/4KW | ||
| 鏡頭倍率 | 1倍 | |||
| 環(huán)境要求 | 22±1℃/24HR內(nèi) | |||
| 整機尺寸 | 2100*2150*2250mm | |||
